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Die UDOX
ist ein Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) Testsystem bestehend
aus vier Burn-In Öfen mit integrierter Messelektronik in kompakter Bauweise.
Die Messelektronik besteht aus Präzisionsspannungsquellen und Vielfach-Amperemetern.
Je zwei Messelektroniken sind über ein Backplane mit Edge-Connectors auf ein
Device under test (DUT) – Board im Burn-In Ofen geschaltet. Je Ofen sind zwei DUT-Boards untergebracht.
Um Beeinflussungen zwischen unterschiedlichen Teststrukturen zu
verhindern, besitzt jede Teststruktur ein eigenes unabhängiges aktives Amperemeter. Die
Strombereiche werden ohne Beeinflussung der angelegten Spannung umgeschaltet. Zur
Sicherheit ist eine hardwaremäßige Strombegrenzung auf 1,5mA vorgesehen.
Die Anlage kommuniziert intern über RS 485 und extern mit dem PC über RS 232 – Schnittstellen.
Durch den modularen kompakten Aufbau eignet sich das Gerät bestens zur Lebensdauer
Charakterisierung von Oxid – Strukturen.

Einstell- und Messbereiche:
· - Spannung von +/-1mV bis +/-200V
· - Strom von 1nA bis 1mA
· - Temperatur: 25 bis 230°C

Der Testablauf läuft vollkommen autonom in den UDOX source measure units(SMU’s) ab.
Pro Kanal können bis zu 13 500 Messpunkte lokal zwischengespeichert werden.
Das Testsystem wird von einem Personal-Computer mit Windows Betriebssystem gesteuert.
Mithilfe der mitgelieferten Systemsoftware können beliebige Spannungsrampen erstellt,
ausgeführt und analysiert werden. Die Datenübertragung wird vom PC getriggert.


UDOX Testsystem


Messelektronik


DUT-Board

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